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환경공학 전공지식

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DSP (Dilute sulfuric peroxide)에 대한 내용 정리 - 반도체 산업에서는 물질 표면을 세척하는 공정이 필요하다. - 초창기부터 사용된 세척 공정인 RCA Standard Clean 방법은 알칼리 용액-산성 용액을 단계적으로 사용하는 two-step 방식을 사용한다. 첫 단계인 SC-1에서는 물, 과수(hydrogen peroxide), 수산화암모늄(ammonium hydroxide)가 5:1:1의 비율로 혼합된 용액을 사용하고 SC-2에서는 물, 과수, 염산(hydrochloric acid)을 6:1:1의 비율로 혼합한 용액을 사용한다. - 현재 사용되고 있는 Dilute sulfuric peroixde (DSP) 공정은 알루미늄 표면의 post-etch 잔여물을 제거하기 위한 공정이다. DSP는 황산(sulfuric acid)과 과수를 혼합한 용액이다...
무방류(ZLD; Zero Liquid Discharge)를 위한 농축수 처리 기술 1. RO에서 발생하는 농축수에 대하여 국내 산업구조가 반도체, 디스플레이, 소재분야 등 고부가가치 산업으로 전환되면서 일반 공업용수 수질이 아닌 순수 수질을 공업용수로 활용하는 기업과 산업단지가 증가하고 있다. 하∙폐수 처리장의 방류수를 순수에 가까운 고급 공업용수로 재처리하는 공법은 주공정인 RO(Reverse Osmosis, 역삼투)공정과 RO공정 앞단의 전처리 공정과 후단의 농축수 처리공정으로 구성된다. 담수를 제외한 농축수에는 높은 염도, 영양물질(인, 질소), 유기 오염물질이 포함되어 있다. 역삼투 공정 사용되는 산, 스케일방지제(polyphosphates, polymers of maleic acid), 파울링방지제, 거품형성방지제(alkylated polyglycols, fatty acids..
전자 폐수의 불소 제거 기술_장/단점 요약 전자 폐수에 대하여 반도체 제조공정에서는 전자기판을 구성하거나 산화표면막의 오염 및 기타 유기오염물과 같은 불필요한 잔존물질이나 불순물을 제거하기 위해 다양한 수용액상 불소화합물(NaF, HF 등)을 이용한다. 이에 따라 사용된 불소 부산물들은 다량의 유해성분과 함께 폐수로 배출된다. 이러한 폐수의 불소함유량은 수천 ppm 이상의 고농도에 이르며, 불산을 포함한 고농도의 질산과 황산이온을 비롯하여 다양한 형태의 인산염이 함유되어 있으므로 생물학적인 방법보다는 물리화학적 흡착제나 중화제를 적용하는 공정을 통하여 제거하고 있다. 일반적으로 자연계에 존재하는 불소는 미량으로 해수 중에는 1ppm 정도, 지표수에는 0.1ppm 정도를 함유하고 있다. 미량의 불소는 환경에 영향을 주지 않지만 고농도의 불소는 방류..
과불화합물, PFAS 처리 기술_나노여과, 전기화학적 산화, 영가철, 입상활성탄, 이온교환 1. PFAS 정화를 위한 두 가지 처리 기술의 연동(Treatment train) PFAS를 제거하기 위한 최신 기술로는 흡착, 여과, 초음파를 이용한 분해, 전기화학적 산화, 광촉매 기반 산화, 전자빔을 이용한 분해, persulfate 산화, 플라즈마 처리, 생물학적 처리 등이 있다. 이러한 최신 기술들은 대부분 까다로운 운영 조건이 필요하며 많은 양의 화학물질과 에너지를 소모하는 등 처리 비용이 높다는 문제를 가지고 있다. 특히, PFAS의 비원위치(ex-situ) 처리는 현장에서 PFAS를 흡착 및 여과 공정을 통해 오염수에서 오염물질을 분리하여 농축한 다음 사용한 흡착제와 농축된 잔류물을 소각하는 과정이 주로 사용되고 있다. 결과적으로 PFAS의 ex-situ 처리 공정에는 많은 에너지와 자본..
Per- and polyfluoroalkyl substances (PFAS)의 특성 및 권고 농도 1. PFAS에 대한 기본 설명 탄소 5~18개를 포함하는 PFAS는 인공적으로 합성된 탄화수소로 perfluorinated라는 단어는 알킬 체인의 수소 원자가 모두 플루오린 원자로 교체되었다는 뜻이다. 가장 잘알려진 PFAS는 perfluorooctane sulfonate (PFOS)와 perfluorooctanoic acid (PFOA)로 소수성의 perfluorinated 탄소 체인(CnH2n+1)과 친수성의 작용기(-SO3-, -COO-)로 구성되어 있다. 이런 소수성과 친수성의 조합으로 인해 PFAS는 다양한 산업 분야에서 표면 처리를 위해 사용된다. PFAS는 무수 수소-플루오린 포함 유기물질에 전류를 가하는 방식인 Simons Electrochemical Fluorination (SEF) 기..
전기응집(electrocogaulation)의 기본 원리와 패러데이 효율 출처 Electrode passivation, faradaic efficiency, and performance enhancement strategies in electrocoagulation—a review Water Research, Volume 187, 15 December 2020, 116433 전기 응집 방법을 사용할 경우 기존 화학적 침전 방식에 비해 화학물질의 사용과 발생하는 슬러지의 양을 줄일 수 있다. 전기응집에서는 금속 성분이 서서히 용출되어 소모되는 전극이 사용되며, 용출된 금속 이온은 응집제의 역할을 하며 오염물질과 함께 침전된다. 하지만 전기응집 반응이 오래 지속되면 전극 위에 여러 물질이 침전되어 오염물질 제거 효율이 감소하고 에너지 사용량이 증가할 수 있다. 이러한 전극 부동 ..
전기응집(electrocogaulation)을 이용한 폐수 처리 전기응집(electrocogaulation) 리뷰 논문 ※Paper 3. Title: A review on industrial wastewater treatment via electrocoagulation processes Author: A.Shahedi, A.K.Darban, F.Taghipour, A.Jamshidi-Zanjani Journal: Current Opinion in Electrochemistry, Volume 22, August 2020, Pages 154-169 본 논문은 폐수 처리 방법들에 대하 간단히 리뷰하고 전기응집 방법과 비교하였다. 그뿐만 아니라, 전기응집에 영향을 미치는 여러 요소(parameter)에 대해 조사하고 다른 정화 방법과 전기응집을 조합하여 처리 효율을 극대화하..
전기응집(electrocogaulation)과 화학적 침전 비교 전기응집(electrocogaulation)과 화학적 침전 비교 ※Paper 2. Title: A comparative study of chemical precipitation and electrocoagulation for treatment of coal acid drainage wastewater Author: M.S.Oncel, A.Muhcu, E.Demirbas, M.Kobya Journal: Chemical Engineering Journal, 1(4), (2013) 989-995 https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2213343713001346?casa_token=3sO4dqAZuKwAAAAA:-IEUy9krxWKpy_W84RdE-kA8l..

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