불소제거 (1) 썸네일형 리스트형 전자 폐수의 불소 제거 기술_장/단점 요약 전자 폐수에 대하여 반도체 제조공정에서는 전자기판을 구성하거나 산화표면막의 오염 및 기타 유기오염물과 같은 불필요한 잔존물질이나 불순물을 제거하기 위해 다양한 수용액상 불소화합물(NaF, HF 등)을 이용한다. 이에 따라 사용된 불소 부산물들은 다량의 유해성분과 함께 폐수로 배출된다. 이러한 폐수의 불소함유량은 수천 ppm 이상의 고농도에 이르며, 불산을 포함한 고농도의 질산과 황산이온을 비롯하여 다양한 형태의 인산염이 함유되어 있으므로 생물학적인 방법보다는 물리화학적 흡착제나 중화제를 적용하는 공정을 통하여 제거하고 있다. 일반적으로 자연계에 존재하는 불소는 미량으로 해수 중에는 1ppm 정도, 지표수에는 0.1ppm 정도를 함유하고 있다. 미량의 불소는 환경에 영향을 주지 않지만 고농도의 불소는 방류.. 이전 1 다음
